上海馬弗爐科技儀器有限公司
商品描述
此款快速退火管式爐是一種專門用于材料科學和半導體制造領域的加熱設備，主要用于對樣品進行快速加熱和冷卻處理。每分鐘升溫速度可達50℃，配備有高精度的溫度控制系統(tǒng)和氣體管理系統(tǒng)，以確保在特定氣氛下精確控制加熱過程。
主要特點
快速加熱：快速退火管式爐能夠迅速達到設定溫度，這對于某些需要短時間內(nèi)完成熱處理過程的應用非常關鍵。
溫度控制精度高：高度精確的溫度控制能力，可以實現(xiàn)溫度的PID精確調節(jié).
氣氛控制：可以在惰性氣體（如氮氣、氬氣）或還原性氣體（如氫氣）環(huán)境中進行退火處理，以防止樣品氧化或者促進特定的化學反應。
操作靈活：用戶可以根據(jù)不同的實驗需求調整加熱速率、保溫時間和冷卻方式等參數(shù)。
應用領域
半導體制造：用于半導體芯片制造中的薄膜沉積后處理。
納米材料合成：合成各種納米結構材料時的退火處理。
金屬合金處理：改善金屬材料的微觀結構和性能。
陶瓷材料加工：制備高性能陶瓷材料
技術參數(shù)
| 型號 | MFLGHW405-12 | MFLGHW408-12 | MFLGHW410-12 | MFLGHW415-12 | |
| 性能 | 石英管尺寸 | Φ50*1000mm | Φ80*1000mm | Φ100*1000mm | Φ150*1000mm |
| 控溫范圍 | 室溫-1200℃ | ||||
| 工作溫度 | ≤1100℃ | ||||
| 加熱區(qū)長度 | 400mm | ||||
| 控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | ||||
| 升溫速率 | 最快升溫速度≤80℃/min,推薦1000度以下≤40℃/min | ||||
| 爐表溫度 | 爐體表面溫度≤60℃（測量點為1000℃） | ||||
| 構成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥性涂裝 | |||
| 爐膛 | 氧化鋁多晶纖維 | ||||
| 傳感器 | K型熱電偶 | ||||
| 加熱元件 | 紅外燈管 | ||||
| 爐管 | 石英管 | ||||
| 爐體結構 | 1.雙層殼體結構設計 2.可開啟式爐膛方便 3.配有風冷系統(tǒng) | ||||
| 控制器 | 控制方式 | PID控制,50段程序控溫 | |||
| 設定表示 | 數(shù)字設定/數(shù)字顯示 | ||||
| 超溫保護 | 具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷 | ||||
| 附加功能 | 偏差修正、停電補償、鎖鍵功能 漏電保護 | ||||
| 定時器 | 1分-99小時59分以及999小時50分數(shù)字設定、自動運行、快速自動停止 | ||||
| 真空系統(tǒng) | 真空泵(選配） | 機械泵 | |||
| 流量計 | 浮子流量計（1-300ml/min） | ||||
| 法蘭 | 不銹鋼真空法蘭 | ||||
| 壓力表 | 指針式壓力表（-0.1Mpa-0.15Mpa) | ||||
| 規(guī)格 | 爐體結構 | 臥式 | |||
| 外形尺寸(D*W*Hmm) | 350*650*605 | 410*850*670mm | |||
| 輸入功率(KW) | 24 | 24 | 28 | 32 | |
| 電壓 | 380V/50HZ | ||||
| 安全 | 工作溫度 | RT±5-40℃ | |||
| 使用保障 | 開門斷電、超溫報警、漏電保護、過溫保護 | ||||
| 出廠清單 | 管式爐一臺，高溫手套一雙，爐鉤一把，管堵一對，說明書一份 | ||||
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